Oxidation-Induced Changes in the ALD-Al2O3/InAs(100) Interface and Control of the Changes for Device Processing

: Marjukka Tuominen, Jaakko Mäkelä, Muhammad Yasir, Johnny Dahl, Sari Granroth, Juha-Pekka Lehtiö, Roberto Félix, Pekka Laukkanen, Mikhail Kuzmin, Mikko Laitinen, Marko P.J. Punkkinen, Hannu-Pekka Hedman, Risto Punkkinen, Ville Polojärvi, Jari Lyytikäinen, Antti Tukiainen, Mircea Guina, Kalevi Kokko

Publisher: American Chemical Society

: 2018

: ACS Applied Materials and Interfaces

: 10

: 51

: 44932

: 44940

: 9

: 1944-8244

: 1944-8252

DOI: https://doi.org/10.1021/acsami.8b17843(external)

: https://research.utu.fi/converis/portal/detail/Publication/37469235(external)