Rapid low-temperature processing of metal-oxide thin film transistors with combined far ultraviolet and thermal annealing

: J. Leppäniemi, K. Ojanperä, T. Kololuoma, O.-H. Huttunen, J. Dahl, M. Tuominen, P. Laukkanen, H. Majumdar, A. Alastalo

: 2014

: Applied Physics Letters

: 113514

: 105

: 11

: 5

: 0003-6951