F1 Taiteellinen erillisjulkaisu

Spatial micro-processing of mono-crystallin silicon with hybrid chemical-laser etching method in KOH with the use of fiber laser

Tekijät: Rosowski A, Piili H, Pawlak R, Kujanpää V, Salminen A

Julkaisuvuosi: 2009

Tietokannassa oleva lehden nimi: ICALEO 2009 - 28th International Congress on Applications of Lasers and Electro-Optics, Congress Proceedings

Vuosikerta: 102

DOI: https://doi.org/10.2351/1.5061671

Verkko-osoite: http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-77953909141&partnerID=MN8TOARS