A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä
Oxidation-Induced Changes in the ALD-Al2O3/InAs(100) Interface and Control of the Changes for Device Processing




Julkaisun tekijät: Marjukka Tuominen, Jaakko Mäkelä, Muhammad Yasir, Johnny Dahl, Sari Granroth, Juha-Pekka Lehtiö, Roberto Félix, Pekka Laukkanen, Mikhail Kuzmin, Mikko Laitinen, Marko P.J. Punkkinen, Hannu-Pekka Hedman, Risto Punkkinen, Ville Polojärvi, Jari Lyytikäinen, Antti Tukiainen, Mircea Guina, Kalevi Kokko
Kustantaja: American Chemical Society
Julkaisuvuosi: 2018
Journal: ACS Applied Materials and Interfaces
Volyymi: 10
Julkaisunumero: 51
eISSN: 1944-8252


Last updated on 2019-07-03 at 12:08